La technologie de gravure par faisceau d'ions est une technologie de traitement ultra-fin qui a émergé dans les années 70 du 20e siècle avec le développement de dispositifs solides dans le sens d'une largeur de ligne inférieure au micron, qui utilise l'effet de pulvérisation du bombardement par faisceau d'ions sur des surfaces solides pour décaper la géométrie requise sur l'appareil traité.
Par rapport à l'usinage, à la corrosion chimique, à la corrosion plasma, à la pulvérisation plasma et à d'autres processus, la gravure par faisceau d'ions présente les caractéristiques suivantes :
(1) Il n'est pas sélectif par rapport aux matériaux traités et tout matériau, y compris les conducteurs, les semi-conducteurs et les isolants, peut être gravé.
(2) Il a une capacité de traitement ultra-fine. Il est capable de graver des motifs de rainures très fines, de l'ordre du micron et du submicronique, et peut même graver des lignes aussi petites que 0,008 μm.
(3) La gravure a une bonne directivité et une haute résolution. Son échantillon est bombardé directionnellement par un faisceau d'ions collimaté dans le vide, ce qui constitue une gravure directionnelle qui peut surmonter le phénomène inévitable de perçage et de gravure lors du traitement chimique par voie humide, et le bord du motif gravé est net et clair. Haute résolution. La précision peut atteindre 0.1~0.01 μm et la rugosité de la surface est meilleure que 0,05 μm.
(4) Processabilité flexible et bonne répétabilité. Étant donné que la densité du faisceau, l'énergie, l'angle d'incidence, la vitesse de mouvement ou de rotation de la table de la pièce à usiner et d'autres paramètres de travail du faisceau ionique peuvent être contrôlés indépendamment et avec précision dans une plage assez large, il est facile d'obtenir les conditions de traitement optimales pour différents échantillons. , qui peut non seulement contrôler l'inclinaison de la paroi latérale de la ligne, mais également contrôler la profondeur de la rainure à modifier en fonction d'une certaine fonction (la profondeur de la rainure qui change en fonction d'une certaine fonction est appelée pondération de profondeur).
(5) L'inconvénient de la gravure par faisceau d'ions est qu'il existe un phénomène de redéposition (effet de redéposition) des matériaux pulvérisés. Il faut y remédier dans la pratique.